お知らせnews

利用者各位

いつもナノテクノロジーハブ拠点をご利用いただき、ありがとうございます。
10/23に吉田キャンパスで発生したユーティリティ（真空機器）不具合の影響を受けて、
「A55/SUSS MA6 BSA SPEC-KU/3」の装置を10/24～31の期間で共用停止させて頂きます。
期間中にプロセス上で不都合がある場合は、
吉田キャンパスにて営業時間外も含めて柔軟に対応しますので、お気軽にご相談ください。
利用者の皆様にはご不便をお掛けしますが、ご理解の程よろしくお願い致します。