装置一覧
A：ナノリソグラフィー装置群
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装置番号／ARIM設備ID装置名/品名・型番/製造社名キーワード写真
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装置番号／
ARIM設備IDA01／
KT-101装置名/
品名・型番/
製造社名高速高精度電子ビーム描画装置
Ultra-High Precision Electron Beam Lithography
超高精細高精度電子ビーム描画装置 ELS-F125HS
(株)エリオニクス (https://www.elionix.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDA02／
KT-102装置名/
品名・型番/
製造社名露光装置（ステッパー）
i-line Stepper
縮小投影型露光装置 NSR-2205i11D
(株)ニコン (https://www.tec.nikon.com/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDA03／
KT-103装置名/
品名・型番/
製造社名レーザー直接描画装置
Laser Pattern Generator
レーザー描画装置 DWL2000
Heiderberg Instrumentsキーワード
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装置番号／
ARIM設備IDA06／
KT-106装置名/
品名・型番/
製造社名紫外線露光装置
Contact Mask Aligner
マスクアライナー MA-10
ミカサ(株) (http://www.opticoat.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDA07／
KT-107装置名/
品名・型番/
製造社名厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
Advanced Spin Coater
DELTA80 T3/VP SPEC-KU
ズース・マイクロテック(株) (https://www.suss.com/jp)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDA08／
KT-108装置名/
品名・型番/
製造社名レジスト塗布装置
Photoresist Spin Coater
ウエハスピンコータ KRC-150CBU
(株)カナメックス (https://www.kanamex.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDA09／
KT-109装置名/
品名・型番/
製造社名スプレーコータ
Photoresist Spray Coater
マイクロマシン/MEMS用スプレーコーター USC-2000ST
ウシオ電機(株) (https://www.ushio.co.jp/jp/index.html)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDA10／
KT-110装置名/
品名・型番/
製造社名レジスト現像装置
Photoresist Developer
ウエハスピン現像装置 KD-150CBU
(株)カナメックス (https://www.kanamex.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDA11／
KT-111装置名/
品名・型番/
製造社名ウエハスピン洗浄装置
Wafer Spin Cleaner
ウエハスピン剥離・洗浄装置 KSC-150CBU
(株)カナメックス (https://www.kanamex.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDA12／
KT-112装置名/
品名・型番/
製造社名ICP質量分析装置
Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometer
ICP-MSシステム Agilent7700s
アジレント・テクノロジー(株) (https://www.chem-agilent.com/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDA14／
KT-114装置名/
品名・型番/
製造社名有機現像液型レジスト現像装置
EB-Resist Developer
KD(EB)-150CBU
(株)カナメックス (https://www.kanamex.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDA15／
KT-115装置名/
品名・型番/
製造社名大面積超高速電子線描画装置
Large Area and Ultra-High Speed Electron Beam Lithography
F7000S-KYT01
(株)アドバンテスト (https://www.advantest.com/ja/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDA16／
KT-116装置名/
品名・型番/
製造社名近接効果補正システム
Proximity Effect Correction System
GenISys(株) (https://www.genisys-gmbh.com/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDA17／
KT-117装置名/
品名・型番/
製造社名超臨界洗浄・乾燥装置
Supercritical Rinser & Dryer
超臨界洗浄・乾燥装置 SCRD401
(株)レクザム (https://www.rexxam.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDA18／
KT-118装置名/
品名・型番/
製造社名高圧ジェットリフトオフ装置
High Pressure Jet Lift-off Apparatus
剥離/リフトオフ装置 KLO-200SV1
(株)カナメックス (https://www.kanamex.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDA19／
KT-119装置名/
品名・型番/
製造社名両⾯マスク露光&ボンドアライメント装置
UV-Nanoimprint Lithography & Infrared Mask/Bond Aligner
MA/BA8 Gen3 SPEC-KU
ズース・マイクロテック(株) (https://www.suss.com/jp)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDA21／
KT-121装置名/
品名・型番/
製造社名マスクレス露光装置
Advanced Maskless Aligner
THE ADVANCED MASKLESS ALIGNER MLA150
Heidelberg Instruments (https://heidelberg-instruments.com/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDA22／
KT-122装置名/
品名・型番/
製造社名二光子重合式3Dプリンター
3D Nanolithography System
3D LITHOGRAPHY AND 3D MICROPRINTING MPO100
Heidelberg Instruments (https://heidelberg-instruments.com/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDA53／
KT-153装置名/
品名・型番/
製造社名移動マスク紫外線露光装置
Moving Mask UV Lithography
MUM-0001
(株)大日本科研 (https://www.kakenjse.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDA54／
KT-154装置名/
品名・型番/
製造社名両面マスクアライナー露光装置
Double-Sided Mask Aligner
PEM-800
ユニオン光学(株) (https://www.union.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDA55／
KT-155装置名/
品名・型番/
製造社名両面マスクアライナー
Manual High Precision Double-Sided Mask Aligner
手動両面マスクアライナ MA6 BSA SPEC-KU/3
ズース・マイクロテック(株) (https://www.suss.com/jp)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDA56／
KT-156装置名/
品名・型番/
製造社名高速マスクレス露光装置
High Speed Maskless Laser Lithography
マスクレス露光装置 D-light DL-1000GS/KCH
(株)ナノシステムソリューションズ (https://www.nanosystem-solutions.com/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDA57／
KT-157装置名/
品名・型番/
製造社名超微細インクジェット描画装置
Super Fine Inkjet Printer
サブフェムトインクジェット加工装置 ST050
(株)SIJテクノロジ (http://www.sijtechnology.com/)キーワード
B：ナノ材料加工・創造装置群
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装置番号／ARIM設備ID装置名/品名・型番/製造社名キーワード写真
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装置番号／
ARIM設備IDB01／
KT-201装置名/
品名・型番/
製造社名多元スパッタ装置(仕様Ａ)
RF Magnetron Multi-Sputter Type-A
汎用性スパッタリング装置 EB1100
キャノンアネルバ(株) (https://anelva.canon/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB02／
KT-202装置名/
品名・型番/
製造社名多元スパッタ装置(仕様B)
RF Magnetron Multi-Sputter Type-B
汎用性スパッタリング装置 EB1100
キャノンアネルバ(株) (https://anelva.canon/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB03／
KT-203装置名/
品名・型番/
製造社名電子線蒸着装置
Electron Beam Evaporator
自動蒸着装置 EB1200
キャノンアネルバ(株) (https://anelva.canon/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB05／
KT-205装置名/
品名・型番/
製造社名プラズマCVD
Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition System
SiO2、SiN膜形成用プラズマCVD装置 MPX-CVD
住友精密工業(株) (https://www.spp.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB06／
KT-206装置名/
品名・型番/
製造社名集束イオンビーム／走査電子顕微鏡
Cross-Beam with Focused Ion Beam and FE-SEM
NVision40PI
(株)日立ハイテクアナリシス (https://www.hitachi-hightech.com/jp/ja/company/group/hhs/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB07／
KT-207装置名/
品名・型番/
製造社名熱酸化炉
Thermal Oxidation Furnace
チューブ炉 MT-8X28-A
(株)ジェイテクトサーモシステム (https://thermos.jtekt.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB09／
KT-209装置名/
品名・型番/
製造社名磁気中性線放電ドライエッチング装置
Magnetic Neutral Loop Discharge Plasma Dry Etcher
高密度プラズマドライエッチング装置 NLD-570
(株)アルバック (https://www.ulvac.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB10／
KT-210装置名/
品名・型番/
製造社名ドライエッチング装置
Capacitive Coupled Plasma Reactive Ion Etcher
リアクティブイオンエッチング装置 RIE-10NR-KF
サムコ(株) (https://www.samco.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB11／
KT-211装置名/
品名・型番/
製造社名電子サイクロトロン共鳴イオンビーム加工装置
Electron Cyclotron Resonance Ion Shower
ECRイオンシャワー装置 EIS-1200
(株)エリオニクス (https://www.elionix.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB12／
KT-212装置名/
品名・型番/
製造社名シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム
Vapor HF Release Etcher
シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチング装置 MLT-SLE-Ox
住友精密工業(株) (https://www.spp.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB13／
KT-213装置名/
品名・型番/
製造社名シリコン犠牲層ドライエッチングシステム
Vapor XeF 2 Release Etcher
シリコン犠牲層ドライエッチング装置 Xetch X3B
XACTIX社キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB14／
KT-214装置名/
品名・型番/
製造社名赤外フェムト秒レーザ加工装置
Femtosecond Cr:Forsterite Laser System
CrF-65
AVESTA PROJECT社キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB15／
KT-215装置名/
品名・型番/
製造社名レーザアニール装置
KrF Laser Annealing System
KrFエキシマレーザアニーリング システム LAEX-1000
AOV(株) (http://www.aov.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB17／
KT-217装置名/
品名・型番/
製造社名基板接合装置
Wafer Bonder
SB8e SPEC-KU
ズース・マイクロテック(株) (https://www.suss.com/jp)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB18／
KT-218装置名/
品名・型番/
製造社名レーザダイシング装置
Laser Stealth Dicer
Mahoh Dicer ML200
(株)東京精密工業 (https://www.accretech.com/jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB19／
KT-219装置名/
品名・型番/
製造社名ダイシングソー
Automatic Dicing Saw
オートマチックダイシングソー DAD322
(株)ディスコ (https://www.disco.co.jp/jp/index.html)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB20／
KT-220装置名/
品名・型番/
製造社名真空マウンター
Wafer Vacuum Mounter
真空テープ貼り付け装置 VTL-201
日本電気(株) (https://jpn.nec.com/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB21／
KT-221装置名/
品名・型番/
製造社名紫外線照射装置
UV Curing System
LED光源UVフィルム硬化装置 LED-4082
テクノビジョン (https://www.techvision.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB22／
KT-222装置名/
品名・型番/
製造社名エキスパンド装置
Die Matrix Expander
ウエハー拡張装置 TEX-21BG GR-5
テクノビジョン (https://www.techvision.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB23／
KT-223装置名/
品名・型番/
製造社名ウェッジワイヤボンダ
Ultrasonic Insulated Wire Bonder
超音波熱圧着ウェッジワイヤーボンダー 7476D
WEST BOND社キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB24／
KT-224装置名/
品名・型番/
製造社名ボールワイヤボンダ
Ball Wire Bonder
超音波熱圧着ボールワイヤー&バンプボンダー 7700D
WEST BOND社キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB25／
KT-225装置名/
品名・型番/
製造社名ダイボンダ
Dual Head Epoxy Die Bonder
マニュアルエポキシボンダー 7200CR
WEST BOND社キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB27／
KT-227装置名/
品名・型番/
製造社名赤外透過評価検査・非接触厚み測定機
Infrared MEMS Analyzer
IRise-T
(株)モリテックス (https://www.moritex.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB29／
KT-229装置名/
品名・型番/
製造社名高性能マッフル炉
Muffle Furnace
HPM-2N
(株)アズワンキーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB30／
KT-230装置名/
品名・型番/
製造社名UVオゾンクリーナー・キュア装置
UV Ozone Cleaner & DeepUV Cure Equipment
UV-300HKU
サムコ(株) (https://www.samco.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB31／
KT-231装置名/
品名・型番/
製造社名水蒸気プラズマクリーナー
Aqua Plasma Cleaner
Aqua Plasma クリーナー AQ-500KU
サムコ(株) (https://www.samco.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB32,B33／
KT-232,KT-233装置名/
品名・型番/
製造社名真空蒸着装置
Thermal Evaporator
抵抗加熱蒸着装置 RD-1400
(株)サンバック (https://www.sanvac.com/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB34／
KT-234装置名/
品名・型番/
製造社名深堀りドライエッチング装置
Reactive Ion Deep Silicon Etcher
MEMS用高速シリコンエッチング装置 RIE-800iPB-KU
サムコ(株) (https://www.samco.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB36／
KT-236装置名/
品名・型番/
製造社名誘導結合プラズマ反応性イオンエッチング装置
Inductive Coupling Plasma Reactive Ion Etcher
枚葉式複合モジュール型 成膜加工装置 uGmni-200E
(株)アルバック (https://www.ulvac.co.jp/index.html)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB37／
KT-237装置名/
品名・型番/
製造社名赤外線ランプ加熱装置
Rapid Thermal Annealing Apparatus
RTP-6
アドバンス理工(株) (https://advance-riko.com/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB38／
KT-238装置名/
品名・型番/
製造社名原⼦層堆積装置
Atomic Layer Deposition
AD-800LP-KN
サムコ(株) (https://www.samco.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB39／
KT-239装置名/
品名・型番/
製造社名UVナノインプリント装置
UV-based Nanoimprint Lithography System
EVG6200TBN
イーヴィグループ(EV Group) (https://www.evgroup.com/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB40／
KT-240装置名/
品名・型番/
製造社名熱インプリント装置
Hot Embossing System
EVG510
イーヴィグループ(EV Group) (https://www.evgroup.com/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB51／
KT-251装置名/
品名・型番/
製造社名パリレン成膜装置
Parylene Coater
ラボコータ LABCOTERPDS-2010
SCS社キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB52／
KT-252装置名/
品名・型番/
製造社名ICP-RIE装置
Inductive Coupled Plasma Reactive Ion Etcher
NE-730
(株)ULVAC (https://www.ulvac.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB53／
KT-253装置名/
品名・型番/
製造社名簡易RIE装置
Tabletop Reactive Ion Etcher
FA-1
(株)サムコ (https://www.samco.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB54／
KT-254装置名/
品名・型番/
製造社名ウエハ接合装置
Surface Activated Wafer Bonder
WAP-100
ボンドテック(株) (http://www.bondtech.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB55／
KT-255装置名/
品名・型番/
製造社名ナノインプリント装置
Nanoimprint Lithography
TP-32937
(株)マルニキーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB56／
KT-256装置名/
品名・型番/
製造社名ダイシング装置
Automatic Dicing Saw
オートマチックダイシングソー DAD322
(株)ディスコ (https://www.disco.co.jp/jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB57／
KT-257装置名/
品名・型番/
製造社名ナノインプリントシステム
Nanoimprint Lithography
Eitre3
Obducat (https://www.obducat.com/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB58／
KT-258装置名/
品名・型番/
製造社名電子線蒸着装置(2)
Electron Beam Evaporator(2)
薄膜製造加工システム OVE-350
(株)大阪真空機器製作所 (https://www.osakavacuum.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDB59／
KT-259装置名/
品名・型番/
製造社名深堀りドライエッチング装置
Reactive Ion Deep Silicon Etcher
MEMS用高速シリコンエッチング装置 RIE-800iPB-KU
サムコ(株) (https://www.samco.co.jp/)キーワード
C：ナノ材料分析・評価装置群
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装置番号／ARIM設備ID装置名/品名・型番/製造社名キーワード写真
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装置番号／
ARIM設備IDC01／
KT-301装置名/
品名・型番/
製造社名超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
Ultra-High Resolution Filed Emission SEM
日立超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 SU-8000
(株)日立ハイテクノロジーズ (https://www.hitachi-hightech.com/jp/ja/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDC02／
KT-302装置名/
品名・型番/
製造社名分析走査電子顕微鏡
Analytical Variable-Pressure Field Emission SEM
日立低真空分析走査電子顕微鏡 SU-6600
(株)日立ハイテクノロジーズ (https://www.hitachi-hightech.com/jp/ja/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDC03／
KT-303装置名/
品名・型番/
製造社名高速液中原子間力顕微鏡
Liquid-Environment High Speed AFM
高速原子間力顕微鏡 NLV-KS
(株)生体分子計測研究所 (https://www.ribm.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDC04／
KT-304装置名/
品名・型番/
製造社名走査型プローブ顕微鏡システム
Bioscience Atomic Force Microscope
原子間力顕微鏡 NanoWizard III NW3-XS-O
JPKインスツルメンツ (https://www.bruker.com/de/products-and-solutions/microscopes/bioafm.html?utm_source=JPK)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDC05／
KT-305装置名/
品名・型番/
製造社名共焦点レーザー走査型顕微鏡
Confocal Laser Scanning Microscope
FV1000
オリンパス(株) (https://www.olympus.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDC06／
KT-306装置名/
品名・型番/
製造社名3D測定レーザー顕微鏡
3D Measuring Laser Microscope
OLS4000-SAT
オリンパス(株) (https://www.olympus.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDC08／
KT-308装置名/
品名・型番/
製造社名全反射励起蛍光イメージングシステム
Total Internal Reflection Fluorescence Microscope
二波長同時励起全反射蛍光イメージングシステム TIRFM
オリンパス(株) (https://www.olympus.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDC09／
KT-309装置名/
品名・型番/
製造社名長時間撮影蛍光イメージングシステム
Time-Lapse Fluorescence Microscope
フォーカス補正機能付倒立型電動リサーチ顕微鏡 IX81-ZDC2
オリンパス(株) (https://www.olympus.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDC10／
KT-310装置名/
品名・型番/
製造社名X線回折装置
Intelligent X-Ray Diffractometer
全自動水平型多目的Ｘ線回折装置 SmartLab-9K
(株)リガク (https://rigaku.com/ja/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDC11／
KT-311装置名/
品名・型番/
製造社名分光エリプソメーター
Spectral Ellipsometer
FE-5000
大塚電子(株) (https://www.otsukael.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDC12／
KT-312装置名/
品名・型番/
製造社名光ピンセットシステム
Optical Tweezers & 3D Trapping System
Nano Tracker
JPKインスツルメンツ (https://www.bruker.com/de/products-and-solutions/microscopes/bioafm.html?utm_source=JPK)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDC13／
KT-313装置名/
品名・型番/
製造社名ゼータ電位・粒径測定システム
Zeta Potential & Particle Size Analyzer
ELSZ-2PLus
大塚電子(株) (https://www.otsukael.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDC14／
KT-314装置名/
品名・型番/
製造社名ダイナミック光散乱光度計
Dynamic Light Scattering Spectrophotometer
DLS-8000DH
大塚電子(株) (https://www.otsukael.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDC16／
KT-316装置名/
品名・型番/
製造社名マイクロシステム アナライザ
Micro System Analyzer
MSA-500-TPM2-20-D-KU
ポリテックジャパン(株) (https://www.polytec.com/jp)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDC17／
KT-317装置名/
品名・型番/
製造社名プローバ
Prober
微小電流測定用ウエーハマニュアルプローバ 708fT
(株)日本マイクロニクス (https://www.mjc.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDC18／
KT-318装置名/
品名・型番/
製造社名真空プローバ
Vacuum Probe System
真空マニュアルプローブシステム PLV50
カスケード・マイクロテック(株) (https://www.formfactor.com/sales-service/contact-sales/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDC19／
KT-319装置名/
品名・型番/
製造社名パワーデバイスアナライザ+(C17プローバ)
Power Device Analyzer & Curve Tracer
半導体パラメータアナライザ B1505A
アジレント・テクノロジー(株) (https://www.chem-agilent.com/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDC20／
KT-320装置名/
品名・型番/
製造社名インピーダンスアナライザ+(C18真空プローバ)
Precision Impedance Analyzer
プレシジョンインピーダンスアナライザ 4294A
アジレント・テクノロジー(株) (https://www.chem-agilent.com/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDC21／
KT-321装置名/
品名・型番/
製造社名光ヘテロダイン微小振動測定装置
Optical Heterodyne Laser Doppler Vibrometer
MLD-230D-200K
ネオアーク(株) (https://www.neoark.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDC22／
KT-322装置名/
品名・型番/
製造社名超微小材料機械変形評価装置
Nano-Indenter
超微小押し込み硬さ試験機 ENT-2100
(株)エリオニクス (https://www.elionix.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDC24／
KT-324装置名/
品名・型番/
製造社名セルテストシステム
Solar Cell Tester
マルチスタット1470E型、周波数応答アナライザ1260型
ソーラトロン社 (https://www.solartronmetrology.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDC25／
KT-325装置名/
品名・型番/
製造社名卓上顕微鏡(SEM)
Tabletop SEM
日立卓上顕微鏡 Miniscope TM3000
(株)日立ハイテクノロジーズ (https://www.hitachi-hightech.com/jp/ja/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDC26／
KT-326装置名/
品名・型番/
製造社名高周波伝送特性測定装置(C27+C28+C29)
Manual Prober
α150
(株)アポロウェーブ (https://www.apollowave.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDC27／
KT-327装置名/
品名・型番/
製造社名RFプローブキット
RF Microwave Probe Kit
ZPROBE
Cascade Microtech (https://www.formfactor.com/japan/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDC28／
KT-328装置名/
品名・型番/
製造社名ネットワークアナライザ
Vector Network Analyzer
ベクトル・ネットワーク・アナライザ R&S ZVB
ROHDE&SCHWARZ (https://www.rohde-schwarz.com/jp/home_48230.html)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDC29／
KT-329装置名/
品名・型番/
製造社名半導体パラメータアナライザ
Semiconductor Parameter Analyzer
4200-SCS
ケースレーインスツルメンツ (https://www.tek.com/ja/products/keithley)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDC30／
KT-330装置名/
品名・型番/
製造社名強誘電体特性評価システム
Piezoelectric Properties Evaluation System
FCE-3
(株)東陽テクニカ (https://www.toyo.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDC31／
KT-331装置名/
品名・型番/
製造社名接触式シート抵抗測定器
4 Point Probe Sheet Resistance Measurement System
Cresbox
ナプソン株式会社 (https://www.napson.co.jp/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDC32,C33／
KT-332,KT-333装置名/
品名・型番/
製造社名触針式段差計
Stylus Profilometer
触針式表面形状測定器 Dektak150
Veeco Instruments (https://www.veeco.com/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDC34／
KT-334装置名/
品名・型番/
製造社名ウエハプロファイラ
Optical Wafer Profiler
Optical Profiler Zeta-388
ケーエルエー・テンコール(株) (https://www.kla.com/)キーワード
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装置番号／
ARIM設備IDC51／
KT-351装置名/
品名・型番/
製造社名光⼲渉膜厚計
Thickness Measurement Instruments
膜厚測定システム F20
FILMETRICS (https://www.filmetricsinc.jp/)キーワード
D：ナノ微細構造解析装置群
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装置番号／ARIM設備ID装置名/品名・型番/製造社名キーワード写真
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装置番号／
ARIM設備IDD01／
KT-401装置名/
品名・型番/
製造社名極低温高分解能透過電子顕微鏡
Ultralow-Temperature High-Resolution Transmission Electron Microscope
JEM-2100F(G5)
日本電子(株) (https://www.jeol.co.jp/)キーワード
極低温TEM観察, ヘリウム温度, 連続4時間, 照射ダメージ低減, 液中構造観察
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装置番号／
ARIM設備IDD02／
KT-402装置名/
品名・型番/
製造社名球面収差補正透過電子顕微鏡
Spherical-Aberration-Corrected Transmission Electron Microscope
JEM-2200FS
日本電子(株) (https://www.jeol.co.jp/)キーワード
TEM用Cs補正, 高分解能TEM観察, 電子回折
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装置番号／
ARIM設備IDD03／
KT-403装置名/
品名・型番/
製造社名モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡
Monochromated Atomic Resolution Analytical Electron Microscope
JEM-ARM200F
日本電子(株) (https://www.jeol.co.jp/)キーワード
原子分解能TEM/STEM/EDS, 高エネルギー分解能EELS, 加速電圧60/200kV
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装置番号／
ARIM設備IDD05／
KT-405装置名/
品名・型番/
製造社名ミクロトーム
Microtome Apparatus
ULTRACUT UCT / FCS
Leica (https://www.leica-microsystems.com/jp/)キーワード
液体窒素冷却, -100℃-室温, ダイヤモンドナイフ 35,45°/2mm幅
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装置番号／
ARIM設備IDD08／
KT-408装置名/
品名・型番/
製造社名デュアルビーム走査電子顕微鏡(FIB-SEM)
Dual Beam FIB-SEM
JIB-4700F
日本電子(株) (https://www.jeol.co.jp/)キーワード
TEM試料作製,表面/断面観察, EDS元素分析, EBSD方位分析, 低温ステージ(-150℃-)
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装置番号／
ARIM設備IDD09／
KT-409装置名/
品名・型番/
製造社名イオンスライサー
Cryo Ion Slicer
クライオイオンスライサー IB-09060CIS
日本電子(株) (https://www.jeol.co.jp/)キーワード
断面試料作製, 広領域, 液体窒素冷却, FIB試料仕上げ加工