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    1.実施したい内容を簡潔にご記載ください。

    2.機器利用・技術補助の場合には、想定されている装置名を記載ください。

    3.工法や工程案が決まっている場合は、その内容をご記載ください。

      ※構造図やプロセスフローなどを添付いただけますと、よりスムーズな対応が可能です。

    4.材料(基板、成膜材等)、膜厚、寸法など、判明している情報があればご記載ください。

    5.その他、懸念事項がございましたら、あらかじめご記載ください。

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