ナノハブabout

当拠点の特徴

1. 多種多様な基板・薄膜材料をウエハレベルで加工・評価することができるナノマイクロ試作ライン、
   および、透過型電子顕微鏡を中心とした原子スケールまでの局所分析・観察法とそのための試料作製法を提供します
   • ナノリソグラフィー装置群…マスク作製からレジスト現像までの一連の装置
   • ナノ材料加工・創製装置群…各種ドライエッチング薄膜作製などの装置
   • ナノ材料分析・評価装置群…SEM、AFM、蛍光顕微鏡、電気特性評価装置など
   • ナノ微細構造解析装置群…透過電子顕微鏡(TEM/SEM、元素・状態分析、極低温観察)、試料作製装置(FIB-SEM)など
2. 開かれた施設として運用しています

   京都大学内ではどの研究室にも属さない研究支援のための施設として、簡単な利用審査手続きで学内外の研究者に広くご利用いただけます。

3. 装置ごとに利用時間に応じた料金を設定しています

   1時間当たりの料金が設定されています。貴重な研究予算の有効利用が図れます。

4. 利用者自らが装置を操作し実験できます

   拠点専属の技術スタッフによる支援を受けながら利用できます。進行状況や結果に応じて、実験条件を変更できます。

5. 技術相談に応じ、技術代行サービスも提供します

スタッフ

定款・規定

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