利用事例
多孔質ガス拡散層を形成した小型酸素・湿度センサ技術
酸素濃度および湿度を高感度に計測できる世界初の限界電流式の超小型酸素・湿度MEMSセンサの開発に成功した。超高温マイクロヒーターとイットリア安定化ジルコニア（YSZ）薄膜のセンシング部で構成され、動作電圧制御（ヒータ温度575℃以上）により、１チップでの酸素濃度と湿度の計測を実現した。多孔質薄膜ガス拡散層を形成するため、傾斜状態の基板を任意速度で自転できる装置改造を行い、"回転斜め蒸着法"により螺旋構造Ta<sub>2</sub>O<sub>5</sub>薄膜 (相対密度35%) を形成した。
図1 マイクロヒータと多孔質ガス拡散層を形成したセンサ構造断面図
図2 回転斜め蒸着法により形成した
螺旋構造Ta2O3薄膜 (多孔質ガス拡散層) の断面SEM