利用事例
ナノ構造による光制御デバイス技術
回折光学素子（DOE：Diffractive Optical Element）はバイオ、医療、印刷、材料加工、非接触検査、光学計測など、様々な分野での利用に期待が高まっている。<br /> DOEはその光学的機能を実現するため、波長オーダーの複雑な構造が必要で本課題では石英基板の深さ方向に微細段差構造を有するDOEを作製した。<br /> 電子線蒸着装置にてCr薄膜を形成し、パターン露光後、磁気中性線放電ドライエッチング装置にて基板のエッチングを施した。なお深さ方向の微細段差構造を実現するため、フォト工程・エッチング工程を複数回繰り返した。作製したデバイスの表面形状、段差深さ寸法は、ほぼ狙い通りの仕上がりであった。
SEM image of DOE