イオンスライサー
ナノ微細構造解析装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | D09／KT-409 |
|---|---|
| 装置名 | イオンスライサー Cryo Ion Slicer |
|
|
| 製造社名 | 日本電子(株) (https://www.jeol.co.jp/) |
| 品名・型番 | クライオイオンスライサー IB-09060CIS |
| 特徴 | TEM/SEM観察用の断面試料を作製することができます。 室温・液体窒素温度でアルゴンイオンビームによる比較的広い領域(数十μm程度)の薄片化が可能です。また、FIB試料の仕上げ加工(ダメージ層除去)に使用することもできます。 |
| キーワード | 断面試料作製, 広領域, 液体窒素冷却, FIB試料仕上げ加工 |
| 設置場所 | 宇治地区 32. 超高分解能分光型電子顕微鏡棟 6号室 |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| イオン銃 | アルゴン 1-8 kV |
| 試料ステージ | -120℃ 8時間 |
| ミリングスピード | 5 μm / min (Si の場合) |
| 試料サイズの目安 | 2.5 mm x 0.5 mm x 0.1 mm |
| 注意点 | 事前の試料整形・研磨が必要です |
参考画像
