モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡
ナノ微細構造解析装置群
装置番号/ARIM設備ID | D03/KT-403 |
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装置名 | モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡 Monochromated Atomic Resolution Analytical Electron Microscope |
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製造社名 | 日本電子(株) (https://www.jeol.co.jp/) |
品名・型番 | JEM-ARM200F |
特徴 | TEM/STEM用の球面収差補正装置を備えており、原子分解能での観察が可能です。 電子銃にモノクロメータが装着されており、高エネルギー分解能のEELS測定により元素・電子状態解析が可能です。 また、EDSによる元素分析も可能です。加速電圧は60kV, 200kVを選択できます。 |
キーワード | 原子分解能TEM/STEM/EDS, 高エネルギー分解能EELS, 加速電圧60/200kV |
設置場所 | 宇治地区 32. 超高分解能分光型電子顕微鏡棟 3号室 |
装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
モノクロメータ | ダブルウィーンフィルター |
球面収差補正装置 | CEOS社製 (TEM用(CETCOR), STEM用 (CESCOR)) |
試料ホルダ | 2軸傾斜ホルダ・加熱ホルダ 2種・低温ホルダ(液体窒素)・回転傾斜ホルダ |
EDS | JED-2300T SDD100GV |
EELS | Gatan 966 Quantum ERS |
EELSエネルギー分解能 (ZLP FWHM) | 24 meV / 32 meV (加速電圧 60/200 kV・モノクロメータ使用時), 650 meV (モノクロメータOFF時) |