モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡

ナノ微細構造解析装置群

装置番号/ARIM設備ID D03/KT-403
装置名 モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡
Monochromated Atomic Resolution Analytical Electron Microscope
モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡
製造社名 日本電子(株) (https://www.jeol.co.jp/)
品名・型番 JEM-ARM200F
特徴

TEM/STEM用の球面収差補正装置を備えており、原子分解能での観察が可能です。

電子銃にモノクロメータが装着されており、高エネルギー分解能のEELS測定により元素・電子状態解析が可能です。

また、EDSによる元素分析も可能です。加速電圧は60kV, 200kVを選択できます。

キーワード 原子分解能TEM/STEM/EDS, 高エネルギー分解能EELS, 加速電圧60/200kV
設置場所

宇治地区 32. 超高分解能分光型電子顕微鏡棟 3号室

装置利用料金

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仕様

モノクロメータ ダブルウィーンフィルター
球面収差補正装置 CEOS社製 (TEM用(CETCOR), STEM用 (CESCOR))
試料ホルダ 2軸傾斜ホルダ・加熱ホルダ 2種・低温ホルダ(液体窒素)・回転傾斜ホルダ
EDS JED-2300T SDD100GV
EELS Gatan 966 Quantum ERS
EELSエネルギー分解能 (ZLP FWHM) 24 meV / 32 meV (加速電圧 60/200 kV・モノクロメータ使用時), 650 meV (モノクロメータOFF時)

参考画像

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