球面収差補正透過電子顕微鏡
ナノ微細構造解析装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | D02／KT-402 |
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| 装置名 | 球面収差補正透過電子顕微鏡 Spherical-Aberration-Corrected Transmission Electron Microscope |
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| 製造社名 | 日本電子(株) (https://www.jeol.co.jp/) |
| 品名・型番 | JEM-2200FS |
| 特徴 | TEMによる像観察を主体とした装置です。 TEM用収差補正装置を備え空間分解能 0.1 nm での観察と、電子回折図形が観察可能です。 試料加熱ホルダ・低温(液体窒素温度)ホルダなど各種の試料ホルダが利用可能です。 |
| キーワード | TEM用Cs補正, 高分解能TEM観察, 電子回折 |
| 設置場所 | 宇治地区 33. 極低温超高分解能電子顕微鏡室 9-2号室 |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| 空間分解能 | 0.1 nm (収差補正後) |
| 加速電圧 | 200 kV |
| 電子線分光器 | Ω型フィルタ / エネルギー分解能 0.8 eV |
| 電子銃 | ZrO/W(100) ショットキー電子銃 |
| CCD Camera | 2048×2048 pixel |
| 収差補正装置 | CEOS Cs 補正装置(TEMモード用) |