光⼲渉膜厚計
ナノ材料分析・評価装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | C51／KT-351 |
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| 装置名 | 光⼲渉膜厚計 Thickness Measurement Instruments |
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| 製造社名 | FILMETRICS (https://www.filmetricsinc.jp/) |
| 品名・型番 | 膜厚測定システム F20 |
| 特徴 | サンプルはフェイスUp Downいずれでも測定可能 |
| キーワード | |
| 設置場所 | 桂化学処理室 |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| 膜厚測定範囲 | 15nm～70µｍ 膜材料その他条件によって異なります。 |
| 波長範囲 | 380～1050nm |