触針式形状測定装置
ナノ材料分析・評価装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | C35／KT-335 |
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| 装置名 | 触針式形状測定装置 Stylus Profilometer |
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| 製造社名 | ブルカー(株) (https://www.bruker.com/ja/about/our-business-groups.html) |
| 品名・型番 | Dektak Pro-S |
| 特徴 | |
| キーワード | 段差計/ Step meter 膜厚測定/ Film thickness measurement |
| 設置場所 | 総合研究6号館 クリーンルーム2 |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| 高さ分解能 | 0.1nm＠6.5μmレンジ |
| 高さ再現性 | <0.4nm（1σ） |
| 高さ測定範囲 | <1mm |
| 触圧範囲 | 1～15mg |
| 測定距離 | <55mm |
| サンプルステージ | Φ150mm対応可（XYステージ：手動100mm移動）／Θ360度（手動） |
| スタイラス（先端曲率） | 12.5μm、2μm |
| 薄膜応力測定機能 |
BRUKER社製_Dektak Pro