ウエハプロファイラ

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ナノ材料分析・評価装置群

装置番号／ARIM設備ID C34／KT-334
装置名 ウエハプロファイラ
Optical Wafer Profiler
ウエハプロファイラ
製造社名 ケーエルエー・テンコール(株) (https://www.kla.com/)
品名・型番 Optical Profiler Zeta-388
特徴

・ナノサイズからミリサイズまでの非接触3次元表面形状測定装置
・様々な表面計測モード（ZDot™共焦点グリッド測定、垂直走査干渉測定、位相シフト干渉測定など）
・4インチ、6インチ、8インチウエハの自動搬送による計測。
・取得した複数の測定画像をつなぎ合わせる機能（スティッチング機能）
キーワード
設置場所

総合研究6号館 クリーンルーム2
装置利用料金

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仕様

光源 白色LED、緑色LED
対物レンズ倍率 2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x, 100x, 10x(干渉), 20x(干渉), 50x(干渉)
測定モード ZDot™共焦点グリッド測定、垂直走査干渉測定、位相シフト干渉測定、膜厚測定、欠陥数カウント
Z軸移動レンジ 40ｍｍ（モーター）、200um（ピエゾ）
Z軸最小移動分解能 13nm（モーター）、2nm（ピエゾ）
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