触針式段差計
ナノ材料分析・評価装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | C32,C33／KT-332,KT-333 |
|---|---|
| 装置名 | 触針式段差計 Stylus Profilometer |
|
|
| 製造社名 | Veeco Instruments (https://www.veeco.com/) |
| 品名・型番 | 触針式表面形状測定器 Dektak150 |
| 特徴 | |
| キーワード | |
| 設置場所 | 総合研究6号館 クリーンルーム2 総合研究10号館 加工・評価室 |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| 垂直表示レンジ | 6.5nm～524μm |
| 垂直方向分解能/測定レンジ | 0.1nm/6.5μm,1nm/65.5μm,8nm/524μm |
| 垂直分解能(最高) | 0.1nm |
| 測定距離 | 50μm～55mm |
| サンプルステージサイズ | 直径 150mm |
| ステージ移動範囲 | X:±50mm Y：+75mm,－25mm θ：360° |