半導体パラメータアナライザ
ナノ材料分析・評価装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | C29／KT-329 |
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| 装置名 | 半導体パラメータアナライザ Semiconductor Parameter Analyzer |
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| 製造社名 | ケースレーインスツルメンツ (https://www.tek.com/ja/products/keithley) |
| 品名・型番 | 4200-SCS |
| 特徴 | |
| キーワード | |
| 設置場所 | 総合研究10号館 加工・評価室 |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| ・SMU+プリアンプ 4台 最大200 V印加; 電流値の上限は2W/印加電圧 100 fAの微小電流発生 電流値最小分解能 0.1 fA, 確度 10 fA(ただし、環境に依存します。) |
| ・GND端子 1台 |
| ・OS内臓(Windows XP) |
| ・インターフェース：GPIB, RS-232, USB, 10/100 BASE-Tイーサネット |
| ・GPIBインターフェースにより外部計測器の制御または、外部からの制御が可能 |