高周波伝送特性測定装置(C27+C28+C29)
ナノ材料分析・評価装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | C26／KT-326 |
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| 装置名 | 高周波伝送特性測定装置(C27+C28+C29) Manual Prober |
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| 製造社名 | (株)アポロウェーブ (https://www.apollowave.co.jp/) |
| 品名・型番 | α150 |
| 特徴 | |
| キーワード | |
| 設置場所 | 総合研究10号館 加工・評価室 |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| ・6インチホットチャックにより、室温から300℃の高温でデバイスの評価が可能。 |
| ・粗動+XYZθ高精度精密ステージによりスムーズで正確なデバイスの位置合わせが可能。 |
| ・プローブ位置合わせのストローク量: X,Y,Z各±5 mm |
| ・シールドボックスに格納し、遮光した状態での評価が可能。 |
| ・タングステン針、RFプローブ(C27)を用意。 |
| ・RFプローブはカスケード社、ズース社、GGB社の全てに対応。 |
| ・計測器として、ROHDE&SCHWARZ社製ベクトル・ネットワーク・アナライザR&S ZVBもしくはKEITHLEY Instruments社製半導体特性評価システム4200-SCSを使用。(それぞれ、C28,C29) |