卓上顕微鏡(SEM)
ナノ材料分析・評価装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | C25／KT-325 |
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| 装置名 | 卓上顕微鏡(SEM) Tabletop SEM |
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| 製造社名 | (株)日立ハイテクノロジーズ (https://www.hitachi-hightech.com/jp/ja/) |
| 品名・型番 | 日立卓上顕微鏡 Miniscope TM3000 |
| 特徴 | 簡単な操作で高倍率の表面観察ができます。 |
| キーワード | |
| 設置場所 | 総合研究6号館 クリーンルーム1 |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| 倍率 | 15～30,000倍 |
| 加速電圧 | 5～15kV |
| 試料最大寸法 | Φ70mm |
| 試料最大厚さ | 50mm |