光ヘテロダイン微小振動測定装置

ナノ材料分析・評価装置群

装置番号/ARIM設備ID C21/KT-321
装置名 光ヘテロダイン微小振動測定装置
Optical Heterodyne Laser Doppler Vibrometer
光ヘテロダイン微小振動測定装置
製造社名 ネオアーク(株) (https://www.neoark.co.jp/)
品名・型番 MLD-230D-200K
特徴
キーワード
設置場所

国際科学イノベーション棟
東館地階 第2加工・評価室

装置利用料金

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仕様

測定方向 縦振動、横振動の方向を切り替えて測定
測定周波数 1kHz~200MHz
ビーム径(20倍対物) 縦振動時:約Φ10μm
横振動時:約Φ15μm
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