パワーデバイスアナライザ+(C17プローバ)
ナノ材料分析・評価装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | C19／KT-319 |
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| 装置名 | パワーデバイスアナライザ+(C17プローバ) Power Device Analyzer & Curve Tracer |
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| 製造社名 | アジレント・テクノロジー(株) (https://www.chem-agilent.com/) |
| 品名・型番 | 半導体パラメータアナライザ B1505A |
| 特徴 | 基本的にC17のプローバと組み合わせて使用する。(別のプローバ等を使用される場合は、要相談) |
| キーワード | |
| 設置場所 | 総合研究10号館 加工・評価室 |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| 測定機能 | |
| ハイパワーSMU* | 電流: 10 fAから1 Aまで、電圧: 2μVから200 VまでのIV測定 |
| 高電流SMU | 電流: 10 pAから20 Aまで、電圧: 200 nVから40 VまでのIV測定 |
| 高電圧SMU | サブpAレベルのリーク電流測定を3000Vの印加電圧で実行可能 |
| マルチ周波数 容量測定ユニット | 周波数範囲: 1 kHzから5 MHz 3kVのDCバイアスでCV測定が可能 |
| 印加機能 | |
| 高電圧SMU | 1500 V/ 8 mAまたは3000 V / 4 mAの範囲で、 パルス(0.5 msec-2 sec)またはDCで印加可能。 |
| 高電流SMU | 20 A/20 Vをパルス(0.05 msec-1 msec)で、 1 A/40 VをDCで印加可能。 |
*SMU: Source/Measure Unit 高精度に電圧/電流を供給すると同時に電圧/電流を測定するユニット