真空プローバ
ナノ材料分析・評価装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | C18／KT-318 |
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| 装置名 | 真空プローバ Vacuum Probe System |
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| 製造社名 | カスケード・マイクロテック(株) (https://www.formfactor.com/sales-service/contact-sales/) |
| 品名・型番 | 真空マニュアルプローブシステム PLV50 |
| 特徴 | Φ150mm基板まで対応できるマニュアルプローブシステム(-40℃～+200℃過調制御可能) |
| キーワード | |
| 設置場所 | 総合研究10号館 加工・評価室 |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| プローブステーション | チャックサイズ：Φ150mm，Φ100mm，小片基板 ほか ステージ移動範囲：100 x 100mm チャック温度：-40～+200℃ |
| 真空チャンバー | 制御圧力：10～10-2Pa（TMP） 雰囲気ガス：N2 |
| シングルプローブ | プローブ数：4（MAX 6系統） タイプ：SMA 周波数：DC～HF |
| 光学機器 | 倍率：1.16～14x XY移動範囲：50 x 50 mm |
| その他 | マイクロシステムアナライザ（C16）との併用可 |