プローバ
ナノ材料分析・評価装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | C17／KT-317 |
|---|---|
| 装置名 | プローバ Prober |
|
|
| 製造社名 | (株)日本マイクロニクス (https://www.mjc.co.jp/) |
| 品名・型番 | 微小電流測定用ウエーハマニュアルプローバ 708fT |
| 特徴 | 微小電流(fAレベル)領域の解析・評価を行うためのマニュアルプローバ |
| キーワード | |
| 設置場所 | 総合研究10号館 加工・評価室 |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| Wafer size | ～Φ200mm |
| Stage travel | X:220mm Y:270mm |
| Sub-stage travel | X:10mm Y:10mm |
| Z stroke | 0/0.3/3.5mm+2mm |
| θ stroke | ±5° |