マイクロシステム アナライザ
ナノ材料分析・評価装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | C16／KT-316 |
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| 装置名 | マイクロシステム アナライザ Micro System Analyzer |
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| 製造社名 | ポリテックジャパン(株) (https://www.polytec.com/jp) |
| 品名・型番 | MSA-500-TPM2-20-D-KU |
| 特徴 | MEMSデバイスの動的特性(面外、面内)および表面形状を3次元で測定 |
| キーワード | |
| 設置場所 | 総合研究10号館 加工・評価室 |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| 対物レンズ | 振動測定用 倍率：10X(測定視野：0.90 x 0.67 mm） 倍率：20X（測定視野：0.45 x 0.335 mm） 表面形状測定用 倍率：10X（測定視野：0.90 x 0.67 mm） |
| 測定モード | シングルビーム／差分ビーム |
| 振動周波数 | HF速度：～2.5MHz（VD-07，VD-09） HF変位：～20MHz（DD-300） |
| 振動周波数 | 1Hz～1MHz |
| Z方向可動範囲 | 250um（対物レンズ内蔵ピエゾ式移動ステージ） |
| その他 |