分光エリプソメーター
ナノ材料分析・評価装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | C11／KT-311 |
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| 装置名 | 分光エリプソメーター Spectral Ellipsometer |
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| 製造社名 | 大塚電子(株) (https://www.otsukael.jp/) |
| 品名・型番 | FE-5000 |
| 特徴 | ・分光エリプソスペクトルの多波長同時測定 |
| キーワード | |
| 設置場所 | 総合研究6号館 クリーンルーム2 |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| 測定膜厚範囲 | 1nm～1μm |
| 測定波長範囲 | 300nm～800nm |
| サンプルサイズ | 200mmx 200mm以上 |
| 測定スポット径 | 約Φ1.2mm |
| 測定項目 | エリプソパラメータ（cosΔ、tanΨ）、 膜厚、屈折率、消衰係数、絶対反射率 |