X線回折装置

ナノ材料分析・評価装置群

装置番号/ARIM設備ID C10/KT-310
装置名 X線回折装置
Intelligent X-Ray Diffractometer
X線回折装置
製造社名 (株)リガク (https://rigaku.com/ja/)
品名・型番 全自動水平型多目的X線回折装置 SmartLab-9K
特徴

▶試料水平保持方式薄膜試料に歪み等を与えることなく取り付けることができ、最大サイズ8インチΦの試料の測定、および4インチΦの場合はエリアマップ測定が可能
▶多彩な薄膜評価組成分析、方位・配向分析、結晶性評価、格子緩和評価、格子歪・残留応力評価、膜厚分析、界面ラフネス分析、密度分析、面内均一性評価など
▶粉末解析に定性分析、定量分析、結晶化度評価、結晶子サイズ/格子歪評価、格子定数の精密化、Rietveld解析など

キーワード
設置場所

総合研究10号館 加工・評価室

装置利用料金

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