3D測定レーザー顕微鏡
ナノ材料分析・評価装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | C06／KT-306 |
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| 装置名 | 3D測定レーザー顕微鏡 3D Measuring Laser Microscope |
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| 製造社名 | オリンパス(株) (https://www.olympus.co.jp/) |
| 品名・型番 | OLS4000-SAT |
| 特徴 | ・落射白色LED照明(明視野、微分干渉)やレーザー集光(反射)による表面形状の計測 |
| キーワード | |
| 設置場所 | 総合研究10号館 加工・評価室 |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| 光源 | 405 nm半導体レーザー |
| 検出系 | 光電子増倍管 |
| 平面測定精度 | 繰り返し性：3σn-1=0.02um(100X) 正確さ:測定値の±2% |
| 高さ測定精度 | 繰り返し性：σn-1=0.012um(50X) 正確さ:0.2+L/100μm以下（L=測定長μm |
| 高さ移動分解能 | 10 nm |
| 駆動長さ | 100x100x100 mm3 |
| 観察方法 | 明視野/微分干渉/レーザー/レーザー微分干渉 |