分析走査電子顕微鏡
ナノ材料分析・評価装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | C02／KT-302 |
|---|---|
| 装置名 | 分析走査電子顕微鏡 Analytical Variable-Pressure Field Emission SEM |
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| 製造社名 | (株)日立ハイテクノロジーズ (https://www.hitachi-hightech.com/jp/ja/) |
| 品名・型番 | 日立低真空分析走査電子顕微鏡 SU-6600 |
| 特徴 | |
| キーワード | |
| 設置場所 | 総合研究10号館 加工・評価室 |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| 分解能 | 【二次電子分解能】 1.2nm（Vacc：30kV／WD=5mm／Mag：x180k／HiVac） 3.0nm（Vacc：1kV／WD=4mm／Mag：x80k／HiVac） 3.0nm （Vacc：30kV／WD=5mm／Mag：x80k／LowVac：60Pa） 【反射電子分解能】 3.0nm （Vacc：30kV／WD=5mm／Mag：x80k／LowVac：10Pa） |
| 倍率 | x10～600,000 |
| 電子銃 | ZrO/Wショットキーエミッション形 |
| プローブ電流 | 1pA～200nA |
| 加速電圧 | 0.5～30kV |
| レンズ系 | 3段電磁レンズ縮小系 |
| 対物レンズ | アウトレンズ形 可動絞り（4孔） |
| 試料サイズ | MAX Φ150mm x t40mm |
| 検出器 | 二次電子検出器 高感度半導体反射電子検出器 |
| 真空度 | 高真空：< 7 x 10-4Pa 低真空：10～300Pa （ADAPT機能） |
| その他 | 試料交換器（エアロック方式） |
| 付属装置 | エネルギー分散形X線検出器（EDX）：Inca E-MAX20 後方散乱電子回折像検出器 （EBSD）：HKL Channel 5 IRカメラ イオンミリング装置（日立 E-3500PLUS） |