超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
ナノ材料分析・評価装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | C01／KT-301 |
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| 装置名 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 Ultra-High Resolution Filed Emission SEM |
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| 製造社名 | (株)日立ハイテクノロジーズ (https://www.hitachi-hightech.com/jp/ja/) |
| 品名・型番 | 日立超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 SU-8000 |
| 特徴 | ・絶縁物試料は、チャージアップ抑制機能を用いて観察可能 |
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| 設置場所 | 総合研究10号館 加工・評価室 |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| 像分解能 | 1.0nm@15kV 1.4nm@1kV |
| 取得可能像 | 二次電子像、組成像、透過像、透過暗視野像 |
| 試料サイズ | Max100mmΦ,高さ30mm以下 |
| 観察領域 | 試料中心より±25mm(X,Y) |
| データ記録 | DVDマルチドライブ |