電子線蒸着装置(2)
ナノ材料加工・創造装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | B58／KT-258 |
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| 装置名 | 電子線蒸着装置(2) Electron Beam Evaporator(2) |
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| 製造社名 | (株)大阪真空機器製作所 (https://www.osakavacuum.co.jp/) |
| 品名・型番 | 薄膜製造加工システム OVE-350 |
| 特徴 | |
| キーワード | |
| 設置場所 | 桂クリーンルーム |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| 基板サイズ | φ4”ウェハ x 1枚 |
| 電子源 | 3連 |
| 基板加熱 | 300℃ |