ナノインプリント装置
ナノ材料加工・創造装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | B55／KT-255 |
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| 装置名 | ナノインプリント装置 Nanoimprint Lithography |
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| 製造社名 | (株)マルニ |
| 品名・型番 | TP-32937 |
| 特徴 | 国内で最も多く普及しているエアプレス動きを油圧で制御するハイチェック機構付き4インチウエハ対応 |
| キーワード | |
| 設置場所 | 桂クリーンルーム |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| 出力 | 10ｋN 1000kg |
| ストローク | 全ストローク：50～100（調整量50） 早送り：0～50 油圧制御送り：50（固定) |
| リーチ mm | 160 |
| オープンハイト | 250 |
| テーブル寸法 mm | □220 |
| シリンダー受圧面積㎠ | 241.8桂クリーンルーム |