パリレン成膜装置
ナノ材料加工・創造装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | B51／KT-251 |
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| 装置名 | パリレン成膜装置 Parylene Coater |
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| 製造社名 | SCS社 |
| 品名・型番 | ラボコータ LABCOTERPDS-2010 |
| 特徴 | 真空中に入れられるものであればどんなものにでもコーティング可能。全面に均一な極薄コーティングが可能であり、微細な隙間中なども均一にカバーする。 |
| キーワード | |
| 設置場所 | 桂クリーンルーム |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| 蒸着室有効面積 | 0.032m3 |
| 最大ダイマー | 100g |
| 原料ダイマー | DPXC,DPXN |
| 4インチ以内 |