熱インプリント装置
ナノ材料加工・創造装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | B40／KT-240 |
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| 装置名 | 熱インプリント装置 Hot Embossing System |
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| 製造社名 | イーヴィグループ(EV Group) (https://www.evgroup.com/) |
| 品名・型番 | EVG510 |
| 特徴 | プラスチック基板やポリマーを塗布した半導体ウェハを加熱加圧によりエンボス加工、接着する装置 |
| キーワード | |
| 設置場所 | 総合研究6号館 イエロールーム |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| 基板サイズ | 6インチΦ以下、不定形対応 厚さ15mm以下（モールド含む） |
| 温度 | 室温～350℃ |
| 荷重 | 20kN以下 |