UVナノインプリント装置
ナノ材料加工・創造装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | B39／KT-239 |
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| 装置名 | UVナノインプリント装置 UV-based Nanoimprint Lithography System |
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| 製造社名 | イーヴィグループ(EV Group) (https://www.evgroup.com/) |
| 品名・型番 | EVG6200TBN |
| 特徴 | 光硬化性ポリマーやフォトレジストにナノ・マイクロレベルの構造を形成する光インプリントリソグラフィー装置 |
| キーワード | |
| 設置場所 | 総合研究6号館 イエロールーム |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| モールドサイズ | 6インチΦ～4インチΦ、厚さ250μm～1.5mm |
| 基板サイズ | 6インチΦ～4インチΦ、厚さ250μm～1.5mm |
| LED光源 | 365nm、405nm、436nm |
| アライメント | ±3.0μm |