UVオゾンクリーナー・キュア装置
ナノ材料加工・創造装置群
| 装置番号/ARIM設備ID | B30/KT-230 |
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| 装置名 | UVオゾンクリーナー・キュア装置 UV Ozone Cleaner & DeepUV Cure Equipment |
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| 製造社名 | サムコ(株) (https://www.samco.co.jp/) |
| 品名・型番 | UV-300HKU |
| 特徴 | |
| キーワード | |
| 設置場所 | 総合研究6号館 クリーンルーム2 |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |