赤外透過評価検査・非接触厚み測定機
ナノ材料加工・創造装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | B27／KT-227 |
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| 装置名 | 赤外透過評価検査・非接触厚み測定機 Infrared MEMS Analyzer |
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| 製造社名 | (株)モリテックス (https://www.moritex.co.jp/) |
| 品名・型番 | IRise-T |
| 特徴 | 赤外線により、非接触にて対象物の観察(内部観察)を行い、かつシリコンウェハ上の薄膜の厚みを測定することができる。 |
| キーワード | |
| 設置場所 | 総合研究6号館 イエロールーム |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| 基板 | 最大Φ8インチウェハーに対応 |
| 低倍率レンズ使用時 | |
| レンズ倍率 | 0.75～4.5倍 |
| 画像分解能 | 0.93～1.16μm/画素 |
| 高倍率レンズ使用時 | |
| レンズ倍率 | 20倍 |
| 画像分解能 | 0.26μm/画素 |
| 厚み測定 | |
| 測定分解能 | 0.01μm以下 |
| 測定範囲 | 5～150μm |