エキスパンド装置
ナノ材料加工・創造装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | B22／KT-222 |
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| 装置名 | エキスパンド装置 Die Matrix Expander |
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| 製造社名 | テクノビジョン (https://www.techvision.co.jp/) |
| 品名・型番 | ウエハー拡張装置 TEX-21BG GR-5 |
| 特徴 | ダイシングされたウエハーを粘着フィルムごとX-Y方向に均一に引き伸ばし拡張する装置 |
| キーワード | |
| 設置場所 | 総合研究10号館 加工・評価室 |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| 基板サイズ | Wafer Φ6″以下 |
| 拡張ストローク | 50mmストローク拡張機構及び調整機構 |
| 拡張ステージ温度 | 常温～80℃可変 |