紫外線照射装置
ナノ材料加工・創造装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | B21／KT-221 |
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| 装置名 | 紫外線照射装置 UV Curing System |
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| 製造社名 | テクノビジョン (https://www.techvision.co.jp/) |
| 品名・型番 | LED光源UVフィルム硬化装置 LED-4082 |
| 特徴 | LEDを光源として特定波長の紫外線を照射することにより、 UV硬化フィルムなどの粘着力を低下させ、ダイボンディング時のピックアップ性を高めることを目的とした装置 |
| キーワード | |
| 設置場所 | 総合研究10号館 加工・評価室 |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| 基板サイズ | Wafer Φ6″以下 |