真空マウンター
ナノ材料加工・創造装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | B20／KT-220 |
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| 装置名 | 真空マウンター Wafer Vacuum Mounter |
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| 製造社名 | 日本電気(株) (https://jpn.nec.com/) |
| 品名・型番 | 真空テープ貼り付け装置 VTL-201 |
| 特徴 | 低真空圧力環境下でウエハーに粘着テープを貼り付ける装置 |
| キーワード | |
| 設置場所 | 総合研究10号館 加工・評価室 |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| 基板サイズ | Wafer Φ4″およびΦ6″ |
| 制御方式 | シーケンサコントロール |
| 機能 | 真空引き、N2パージ仕様 |