ダイシングソー
ナノ材料加工・創造装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | B19／KT-219 |
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| 装置名 | ダイシングソー Automatic Dicing Saw |
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| 製造社名 | (株)ディスコ (https://www.disco.co.jp/jp/index.html) |
| 品名・型番 | オートマチックダイシングソー DAD322 |
| 特徴 | ブレードを高速回転させてシリコン、サファイヤ、金属等の基板をカットする |
| キーワード | |
| 設置場所 | 総合研究10号館 加工・評価室 |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| ワークサイズ | MAX Φ6″ウエハ |
| ワーク厚さ | MAX 4.3mm 【要相談】 |
| 位置決め精度（Y軸） | 5um以内 |
| 加工対象 | Si、セラミックス、PZT、LiTaO3、ガラス、石英、複合材ほか |
| その他 | パッケージ型純水装置 ミニピュア S-100（切削水、洗浄水） |