レーザダイシング装置
ナノ材料加工・創造装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | B18／KT-218 |
|---|---|
| 装置名 | レーザダイシング装置 Laser Stealth Dicer |
|
|
| 製造社名 | (株)東京精密工業 (https://www.accretech.com/jp/) |
| 品名・型番 | Mahoh Dicer ML200 |
| 特徴 | ・ドライプロセスによるダイシングマシン |
| キーワード | |
| 設置場所 | 総合研究10号館 加工・評価室 |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| 適用基板サイズ | Φ6″以下 |
| 適用フレームサイズ | Φ6″フレーム |
| X軸 | ストローク 419mm 移動速度 0.1～600mm/s 制御分解能 0.002mm 真直度 0.0015mm/210mm(水平,垂直共) |
| Y軸 | ストローク 320mm 移動速度 max.100mm/s 制御分解能 0.0002mm(クローズドループ) 位置決め精度 0.002mm/250mm |
| Z軸 | ストローク 9mm 移動速度 max.20mm/s 制御分解能 0.0001mm(クローズドループ) 位置決め精度 0.001mm/1mm |