赤外フェムト秒レーザ加工装置
ナノ材料加工・創造装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | B14／KT-214 |
|---|---|
| 装置名 | 赤外フェムト秒レーザ加工装置 Femtosecond Cr:Forsterite Laser System |
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| 製造社名 | AVESTA PROJECT社 |
| 品名・型番 | CrF-65 |
| 特徴 | 1.23μmの短パルスレーザーを集光し、精密な加工を実現 |
| キーワード | |
| 設置場所 | 国際科学イノベーション棟 |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| フェムト秒クロムフォルステライト発振器(CrF-65) | |
| 発振波長 | 1230nm-1270nm |
| 平均出力 | 180mW-250mW- |
| 空間モード | TEM00 |
| パルス幅 | <100fs |
| 繰り返し周波数 | 75MHz-125MHz |
| 再生増幅器:Fregat-200+マルチパス増幅器:GIGARUS-10 | |
| 発振波長 | 1230nm-1240nm |
| パルスエネルギー | >1.0mJ |
| ビーム品質 | M2<1.3(TEM00) |
| パルス幅 | ><150fs |
| 繰り返し周波数 | 50Hz |
| シングルショットオートコリレーター(ASF-20) | |
| 波長範囲 | 1000nm-1700nm |
| スキャンレート | >10Hz |
| 測定レンジ | 20fs-10ps |
| 三次元空気ばね式除振台(AS-2415) | |
| 定盤寸法 | 2400mm × 1500mm × 800mm |
| 定盤厚さ | 210mm |
| 最大積載重量 | 500kg |
| 定盤上面タップ仕様 | M6×25mmピッチ |
| デジタルオシロスコープ | |
| 周波数帯域 | 1GHz |
| チャンネル数 | 4チャンネル |