電子サイクロトロン共鳴イオンビーム加工装置
ナノ材料加工・創造装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | B11／KT-211 |
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| 装置名 | 電子サイクロトロン共鳴イオンビーム加工装置 Electron Cyclotron Resonance Ion Shower |
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| 製造社名 | (株)エリオニクス (https://www.elionix.co.jp/) |
| 品名・型番 | ECRイオンシャワー装置 EIS-1200 |
| 特徴 | 本装置はおもに微細加工のエッチングを行うための装置です。 ナノプリント用モールド作成などのナノテク分野の研究・加工で必要となる基板や、シリコン、 また磁性などのエッチングを行うことができます。 |
| キーワード | |
| 設置場所 | 総合研究6号館 クリーンルーム2 |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| イオン銃 | ECR型イオン銃 |
| 加速電圧 | 30～3000V |
| ビーム電流密度 | 1.0mA/cm2以上(加速電圧 1000VでArまたはO2使用時) |
| ビーム径 | Φ108mm(700V加速,Ar又はO2ガス単独仕様で0.4mA ～0.6mA/cm2程度のビーム強度時) |
| 試料サイズ | Φ6インチ、Φ2.5インチ、□75mm×7mm |
| 到達真空度 | 2×10-4Pa |
| 試料ステージ | 垂直回転水冷ステージ(温度制御：-20～70℃) |
| 試料交換 | ロードロック機構付 |