熱酸化炉
ナノ材料加工・創造装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | B07／KT-207 |
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| 装置名 | 熱酸化炉 Thermal Oxidation Furnace |
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| 製造社名 | (株)ジェイテクトサーモシステム (https://thermos.jtekt.co.jp/) |
| 品名・型番 | チューブ炉 MT-8X28-A |
| 特徴 | |
| キーワード | |
| 設置場所 | 総合研究6号館 クリーンルーム2 |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| 基板 | 最大Φ6インチウェハーに対応、25枚/バッチ |
| 常用最高温度 | 1050℃ |