集束イオンビーム／走査電子顕微鏡
ナノ材料加工・創造装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | B06／KT-206 |
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| 装置名 | 集束イオンビーム／走査電子顕微鏡 Cross-Beam with Focused Ion Beam and FE-SEM |
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| 製造社名 | (株)日立ハイテクアナリシス (https://www.hitachi-hightech.com/jp/ja/company/group/hhs/) |
| 品名・型番 | NVision40PI |
| 特徴 | 高性能FIBとFE-SEMの複合装置 |
| キーワード | |
| 設置場所 | 総合研究10号館 加工・評価室 |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |