電子線蒸着装置
ナノ材料加工・創造装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | B03／KT-203 |
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| 装置名 | 電子線蒸着装置 Electron Beam Evaporator |
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| 製造社名 | キャノンアネルバ(株) (https://anelva.canon/) |
| 品名・型番 | 自動蒸着装置 EB1200 |
| 特徴 | |
| キーワード | |
| 設置場所 | 総合研究6号館 クリーンルーム1 |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| 基板サイズ | Φ6″ウエハ x 3枚 |
| 蒸発源 | 10kW 4連E型電子銃（22ml x 4） |
| 電子銃制御装置 | EGP-210RS-B電子銃制御装置 EGP-212スイープコントローラ |
| 回転機構 | 公転速度：1～12rpm 自転速度：3～35rpm |
| 蒸発源-基板間距離 | 約300mm（リフトオフ対応） |
| 基板加熱 | 300℃（ハロゲンランプ） |
| 蒸着材料 | Al、Cr、Ti、Au、Ag、Pt、Pd、Ni、Mo、Nb、Si他(要相談） |