超微細インクジェット描画装置
ナノリソグラフィー装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | A57／KT-157 |
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| 装置名 | 超微細インクジェット描画装置 Super Fine Inkjet Printer |
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| 製造社名 | (株)SIJテクノロジ (http://www.sijtechnology.com/) |
| 品名・型番 | サブフェムトインクジェット加工装置 ST050 |
| 特徴 | 超微量・高粘度吐出の可能なスーパーインクジェットヘッドにより、大気圧・常温下でフォトリソグラフ工法に匹敵する微細なパターンを直接描画することができます。 |
| キーワード | |
| 設置場所 | 桂 クリーンルーム |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| 最少吐出量 | 0.1フェムトリットル |
| 最小ライン幅 | 0.6マイクロメートル |
| 対応粘度範囲 | 0.5～10,000cps（非加熱） |
| 広範な種類の液滴の吐出可能 | 導電性ペースト、絶縁性インク、レジスト、接着剤、 タンパク質、溶剤系、UV系など |
| その他 | 付属ソフトウェアにより複雑なパターンを簡単に製作可能 分解能0.1マイクロメートル、 繰り返し位置決め±0.2マイクロメートルの高精度ステージ搭載 塗布最中の映像をリアルタイム観察可能 |