両面マスクアライナー
ナノリソグラフィー装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | A55／KT-155 |
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| 装置名 | 両面マスクアライナー Manual High Precision Double-Sided Mask Aligner |
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| 製造社名 | ズース・マイクロテック(株) (https://www.suss.com/jp) |
| 品名・型番 | 手動両面マスクアライナ MA6 BSA SPEC-KU/3 |
| 特徴 | 高性能手動両面マスクアライナ厚いレジストにも対応 |
| キーワード | |
| 設置場所 | 桂クリーンルーム |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| ウェハサイズサイズ | 2インチ～150mm |
| 基板サイズ | 不定形小片～150mm角 |
| 露光モード | プロキシミティ(ギャップ1～300μm)、 バキュームコンタクトソフトコンタクト、 ハードコンタクト、ソフトバキュームコンタクト |
| アライメント精度 | 0.5μm(TSA) TSA:表面アライメント ±0.1μm(BSA) BSA:裏面アライメント |