両面マスクアライナー露光装置
ナノリソグラフィー装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | A54／KT-154 |
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| 装置名 | 両面マスクアライナー露光装置 Double-Sided Mask Aligner |
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| 製造社名 | ユニオン光学(株) (https://www.union.co.jp/) |
| 品名・型番 | PEM-800 |
| 特徴 | |
| キーワード | |
| 設置場所 | 桂クリーンルーム |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| ウエハサイズ | チップ～4インチ |
| フォトマスクサイズ | 2.5インチ，5インチ |
| 露光モード | コンタクト，プロキシミティ |
| 裏面アライメント | 可能 |
| アライメント精度 | 5μm以下 |
| 解像度 | Φ4インチ |