二光子重合式3Dプリンター
ナノリソグラフィー装置群
| 装置番号/ARIM設備ID | A22/KT-122 |
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| 装置名 | 二光子重合式3Dプリンター 3D Nanolithography System |
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| 製造社名 | Heidelberg Instruments (https://heidelberg-instruments.com/) |
| 品名・型番 | 3D LITHOGRAPHY AND 3D MICROPRINTING MPO100 |
| 特徴 | 2光子重合技術を利用したマイクロ・ナノレベルの3Dプリンター |
| キーワード | |
| 設置場所 | 総合研究6号館 イエロールーム |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
| 最小描画ライン幅 | 100 nm |
| 最小表面粗さ | 10 nm 以下 |
| 最大描画厚さ | 380 μm |
| アライメント精度 | 1.5 μm 以下 |
| 最大印刷領域 | 100 mm x 100 mm |
| 光源 | フェムト秒レーザー(波長: 522 nm) |