超臨界洗浄・乾燥装置
ナノリソグラフィー装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | A17／KT-117 |
|---|---|
| 装置名 | 超臨界洗浄・乾燥装置 Supercritical Rinser & Dryer |
|
|
| 製造社名 | (株)レクザム (https://www.rexxam.co.jp/) |
| 品名・型番 | 超臨界洗浄・乾燥装置 SCRD401 |
| 特徴 | |
| キーワード | |
| 設置場所 | 総合研究6号館 イエロールーム |
| 装置利用料金 | |
| 装置番号／ARIM設備ID | A17／KT-117 |
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| 装置名 | 超臨界洗浄・乾燥装置 Supercritical Rinser & Dryer |
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| 製造社名 | (株)レクザム (https://www.rexxam.co.jp/) |
| 品名・型番 | 超臨界洗浄・乾燥装置 SCRD401 |
| 特徴 | |
| キーワード | |
| 設置場所 | 総合研究6号館 イエロールーム |
| 装置利用料金 | |