近接効果補正システム
ナノリソグラフィー装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | A16／KT-116 |
|---|---|
| 装置名 | 近接効果補正システム Proximity Effect Correction System |
|
|
| 製造社名 | GenISys(株) (https://www.genisys-gmbh.com/) |
| 品名・型番 | |
| 特徴 | |
| キーワード | |
| 設置場所 | 工学部物理系校舎 サテライトオフィス |
| 装置利用料金 | |
| 装置番号／ARIM設備ID | A16／KT-116 |
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| 装置名 | 近接効果補正システム Proximity Effect Correction System |
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| 製造社名 | GenISys(株) (https://www.genisys-gmbh.com/) |
| 品名・型番 | |
| 特徴 | |
| キーワード | |
| 設置場所 | 工学部物理系校舎 サテライトオフィス |
| 装置利用料金 | |