ICP質量分析装置
ナノリソグラフィー装置群
| 装置番号／ARIM設備ID | A12／KT-112 |
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| 装置名 | ICP質量分析装置 Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometer |
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| 製造社名 | アジレント・テクノロジー(株) (https://www.chem-agilent.com/) |
| 品名・型番 | ICP-MSシステム Agilent7700s |
| 特徴 | |
| キーワード | |
| 設置場所 | 国際科学イノベーション棟 東館地階 第2加工・評価室 |
| 装置利用料金 | こちらをご覧ください |
仕様
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感度(Mcps/ppm) |
Li (7) : 50 Y (89) : 160 Tl (205) : 80 |
| バックグラウンド(cps) | ノーガス(9 amu) : < 2 He セルガス(9 amu) : < 0.5 |
| 酸化物生成比(%) | CeO/Ce : < 1.5 |
| 2価イオン生成比(%) | CeO/Ce : < 3 |
| ノーガスモード検出下限(ppt) | Be (9) : 0.5 In (115) : 0.1 Bi (209) : 0.1 |
| He モード検出下限(ppt)* | As (75) : 20 Se (78) : 40 |
| 短期安定性(%RSD) | 20分 : < 3 |
| 長期安定性(%RSD) | 2時間 : < 4 |
| 同位体比精度(%RSD) | Ag (107)/Ag (109) : < 0.1 |
* As およびSe のHe モードでの検出下限測定は、ArCl とCaClの影響を受けないことを示すために、1％ HNO3、2% HCl、および100 ppm Caをマトリクスとした混合標準 液で実施します。
他のテストは、1% HNO3 のマトリクスで実行します。